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专利摘要显示，超纯水进水管道、吸收罐以及与其连接的内流盐酸的管道整体或内衬为高纯氟塑料。江阴江化微电子材料股份有限公司取得一项名为“一种电子级盐酸纯化系统“，对设备腐蚀小，精馏塔塔体出气口与吸收塔相连通，